방사성동위원소를 포함한 기기로 에어로졸이 기기를 통과하면서 방사선에 의한 입자 하전 중화가 이루어 지는 장치에는, Kr-85를 사용한 것과 Po-210를 사용한 제품이 있습니다.

전기적인 방식으로는 Soft X-ray와 코로나 방전을 이용한 제품도 공급이 가능합니다.

1) 3077/3077A : Kr-85 source를 이용하며 방사능은 74/370 MBq(2/10 mCi)이고 최대 5 lpm 까지 사용이 가능합니다. 주로 SMPS system에 장착하여 사용합니다. 반감기는 10.7년으로 수명은 10년 정도로 봅니다.

2) 3012/3012A : Kr-85 source를 이용하며 방사능은 74/370 MBq(2/10 mCi)이고 최대 50 lpm까지 사용이 가능합니다. 주로 입자 발생기에 사용합니다. 반감기는 10.7년으로 수명은 10년 정도로 봅니다.

3) 3054/3054A : Kr-85 source를 이용하며 방사능은 370/740 MBq(10/20 mCi)이고 최대 150 lpm까지 사용이 가능합니다. 주로 3450 VOAG에 사용합니다. 반감기는 10.7년으로 수명은 10년 정도로 봅니다.

4) 348002 : Po-210 source를 이용하며 방사능은 185 MBq(5 mCi)입니다. 주로 3480 EAG에 장착하여 사용합니다. 반감기는 6개월이며, 1년간 사용하실 수 있습니다.

5) 3088 : Soft X-ray를 이용하며 주로 3080, 3082 EC와 3034 SMPS에 장착하여 사용합니다. Lamp는 9.5 keV 미만에서 동작하며, 완전 밀폐된 구조로써, 유량 0.3~5 L/min 범위에서 사용가능합니다. 적용가능한 농도는 최대 10⁷ #/cm³ 입니다. Lamp의 수명은 연속작동 기준으로 1년입니다. 

6) 1090 Electrical Aerosol Neutralizer : 전기적인 코로나 방전을 이용한 입자 하전중화기입니다. 유량 0.5~2.5 L/min 범위, 입자는 10~10,000 nm 범위에서 사용가능합니다. 장비 자체에서 에어졸이 만들어 지지 않습니다.

7) 8103-1 Ionizer Assembly : 전기적인 코로나 방전을 이용한 입자 하전중화기입니다. 코로나 방식은 보통 장치의 오염때문에 에어로졸이 장치를 통과하도록 할 수 없으므로, 코로나 입자 하전 중화기에서 나오는 이온화된 공기와 에어로졸이 포함된 공기가 서로 섞이면서 입자 하전 중화가 되도록 장치를 꾸며주어야 하며, 코로나 차져 자체에서 나노입자가 만들어지기 때문에 나노입자 분야에는 적용 할 수 없는 방법입니다.