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Elite Series_Probe Driver

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Non-contact Measurement (비접촉식 변위 센서 System)

정전용량형 정밀 Gap(변위) 측정 시스템은 측정 센서(probe)와 드라이버, 전원공급장치로 구성됩니다. 센서는 유전체를 모두 감지하므로, 센서 오염에 민감하게 반응합니다. 전도체에 대해서는 와전류(Eddy current) 센서와는 달리 target의 재질과 두께에 영향을 받지 않습니다.

 

 

Probe Driver : 물체를 감지하는 센서인 Probe를 동작시키고 변위에(gap) 해당하는 출력 전압을 내보내는 장치로써 기본적으로 +/-10 VDC 출력과 0.4 ~ 200 nm 정밀도를(range 별로 차이가 남) 갖는 정밀 Driver입니다. 주파수 반응 특성은(Bandwidth) 15 kHz입니다. (-3 dB point)

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제품상세설명


Elite Series :


Plug & Play Sensor에 적용되는 TEDS (Transducer Electronic Data Sheet) serial interface protocol을 지원하므로 module의 정보 및 calibration data를 잃어 버려도 data를 module로부터 직접 얻을 수 있습니다.

 


(1) CPL190 driver : 1개 측정 range의 Probe Driver module입니다.

 


(2) CPL290 driver : 2개 측정 range를(dual sensitivity) 가지고 있는 Probe Driver module로서, 1개의 센서로 2개의 측정 range 또는 2개의 센서를 각각 다른 range로 사용이 가능합니다.

 


(3) MM190 meter and signal processing module : target 위치를 숫자로 표시하고 아날로그 출력을 내보내며, Max./Min./TIR/Tracking TIR 기능, 2 채널 비교 기능의 functional display module입니다.

 


(4) TMP190 Temperature Sensor & Encoder/Index Module : 7개 온도 센서 연결, Index/Encoder 입력이 가능한 module 입니다.

 

 

  
(5) Enclosure : 1, 2, 3, 6, 8 채널 구성이 가능한 Probe Driver module 및 function module 장착용으로 사용됩니다. 1/2/3 채널용 enclosure는 외부 전원공급장치가(AC adapter) 같이 공급되며, 6/8 채널용은 AC 전원으로 작동됩니다. Enclosure 뒷면에 DAQ(Data Acquisition) board로 신호를 전달하기 위한 커넥터가 마련되어 있습니다.